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Clean Room System
ICR, Industrial Clean Room
Industrial Clean Room 项目介绍
产业用CLEASTRIAL CLEAN ROOM主要是空气中的悬浮粒子。 不仅是半导体、电器电子产业,还包括精密机械、光学机器、瓷器、磁带特效印刷等产品,以确保产品质量保证、提高产品质量等为目的引进产品,因此引进微软技术所需的清净程度,也将成为提高控制者的水平。
净室的设计施工是考虑到空气质量分布的同时,适当设计室内空气循环量,不仅可维持良好的洁净度及气流的风速,还可以降低初期投资费用和维护成本,节省成本。
净室的设计施工是考虑到空气质量分布的同时,适当设计室内空气循环量,不仅可维持良好的洁净度及气流的风速,还可以降低初期投资费用和维护成本,节省成本。
Clean Room 各房间间的压力车
| Room(Zone) | 压力车(mmAq) |
|---|---|
| 清洁度Class不同的Clean Room | 0.5 |
| Clean Room和Clean走廊·更衣室 | 0.5~1.0 |
| Clean·更衣室 等和 普通线 | 1.0 |
| Clean Room和一般线 | 1.5 |
Clean Room 标准周期量
| 清洁度 | 换气次数(次/h) |
|---|---|
| Class 100 | 200~600 |
| Class 1,000 | 50~70 |
| Class 10,000 | 30~40 |
| Class 100,000 | 20~30 |
移动时产生粒子(0.3微克以上粒子发生器/min.)
| 没有动静(起立或坐下) | 100,000 | |
| 轻盈的头发,手,胳膊的动作(即席) | 500,000 | |
| 身体,胳膊的普通动作,脚尖拍打地板(坐下) | 1,000,000 | |
| 坐在座位上站立的动作 | 2,500,000 | |
| 步行 | 3.2km/hr(慢动作) | 5,000,000 |
| 5.7km/hr(普通) | 7,500,000 | |
| 8km/hr(快速地) | 10,000,000 | |
| 爬楼梯 | 10,000,000 | |
| 跳跃动作 | 15,000,000~30,000,000 | |
Clean Room 五原则
净室规格 (ISO 14644-1)
| ISO Classification number(N) |
Maximum concentration limits (Particles/㎥ of air) for particle equal to and larger than the considered size shown below |
|||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.1㎛ | 0.2㎛ | 0.3㎛ | 0.5㎛ | 1㎛ | 5㎛ | |
| ISO Class1 | 10 | 2 | - | - | - | - |
| ISO Class2 | 100 | 24 | 10 | 4 | - | - |
| ISO Class3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | - |
| ISO Class4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | - |
| ISO Class5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
| ISO Class6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| ISO Class7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
| ISO Class8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
| ISO Class9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | |||
| Note | Uncertainties related to the measurement process require that concentration data with no more that three significant figures be used in determining the classification level. |
|||||
各清洁设施净施工方式
| Air Flow ltems |
垂直层流方式 Vertical Laminar Airflow Clean Room |
垂平层流方式 Horizontal Laminar Airflow Clean Room |
暖流方式 Turbulent Airflow Clean Room |
净管式方式 Clean Tube Clean Room |
隧道方式 Tunnel Clean Room |
|---|---|---|---|---|---|
| Cleanliness Level | Class 1~100 | Class 100 | Class 100 Class 1,000元~100,000 |
Class 1 | Class 1~100 |
| Cleanliness Level in operation |
从作业者开始 影响小。 |
上游斑疹在下游 产生影响 |
从作业者开始 有影响 |
从作业者开始 有影响 |
作为工作人员来说 影响最小 |
| Initial Cost | High | Middle | Low | Low | Middle |
| Operating Cost | High | Middle | Low | Low | Middle |
| Modification | Easy | Difficult | Easy | Difficult | Difficult |
| Maintenance of Manufacturing Machinery |
Easy | Easy | Easy | Difficult | Easy |
| Expansion | Difficult | Difficult | Difficult but possible | 保持高清度 | Easy |
| Air handling with precise control | 为了控制实体 室内不均衡点 有 |
上游的斑疹在下游 产生影响 |
不均衡 | 工作狂戈麦密 可控制 |
|
| System |  |
 |
 |
 |
 |
净洁净净净(各种产业的普遍需求)(单位:EA/FT³ 0.5㎛)
| 产业领域 | 用途 | 清洁度 | 产业领域 | 用途 | 清洁度 |
|---|---|---|---|---|---|
| 半导体工厂 | 晶体制造制 | 10~100 | 表 . 精密 机器 |
电子表、配件装配 | 100以下 |
| 扩散 | 100以下 | 火箭配件加工 | 100以下 | ||
| 蚀刻处理 | 10~100 | 人造卫星控制装置 | 100以下 | ||
| 预制 | 100~100,000 | 高可信度零部件装置 | 100~1,000 | ||
| PHOTO | 10以下 | Miniature bearing | 100以下 | ||
| 研磨 | 100以下 | 普通 Bearing | 10000 | ||
| 原料及产品保管 | 1,000~10,000 | 组装、检查 | 100~1000 | ||
| 这球是我的功劳 | 100以下 | 电子 计算器 |
磁鼓 | 100以下 | |
| 广学契计 | 透镜研磨 | 100~10,000 | 磁带 | 100以下 | |
| 刻度刻片 | 100以下 | 加工、组装、检查 | 100~100,000 | ||
| 医用摄像机加工 | 100以下 | 电子设备 电算 计测器 |
显像管 | 100以下 | |
| Film 制造干燥 | 10,000以下 | 高信任管 | 100以下 | ||
| Microfilm 洗印, 干燥 | 100~1,000 | 印花管 | 100~100,000 | ||
| 组装 | 100~10,000 | 小型接力 | 100~1,000 | ||
| 油漆 | 10,000~100,000 | 精密仪器仪表 | 100~10,000 | ||
| 检查 | 10,000~100,000 | 吸井版 | 100~1,000 | ||