Clean Room System

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ICR, Industrial Clean Room

Industrial Clean Room 사업소개

Clean Room 각 실간의 압력차

Room(Zone)	압력 차(mmAq)
청정도 Class가 다른 Clean Room	0.5
Clean Room 과 Clean복도·갱의실	0.5~1.0
Clean·갱의실 등과 일반 실	1.0
Clean Room과 일반 실	1.5

Clean Room 표준적 순환 풍량

청정도	환기횟수(회/h)
Class 100	200~600
Class 1,000	50~70
Class 10,000	30~40
Class 100,000	20~30

움직일 때 발생입자 (0.3μ 이상 입자 발생 개수/min.)

움직임 없음(기립 또는 착석)		100,000
가벼운 두,수,팔의 움직임(착석)		500,000
몸,팔의 보통 움직임,발끝으로 마루를 때림(착석)		1,000,000
착석에서 기립하는 동작		2,500,000
보행	3.2km/hr(느리게)	5,000,000
	5.7km/hr(보통)	7,500,000
	8km/hr(빠르게)	10,000,000
계단을 오르는 동작		10,000,000
도약동작		15,000,000~30,000,000

Clean Room 5원칙

크린룸의 규격 (ISO 14644-1)

ISO Classification number(N)	Maximum concentration limits (Particles/㎥ of air) for particle equal to and larger than the considered size shown below
	0.1㎛	0.2㎛	0.3㎛	0.5㎛	1㎛	5㎛
ISO Class1	10	2	-	-	-	-
ISO Class2	100	24	10	4	-	-
ISO Class3	1,000	237	102	35	8	-
ISO Class4	10,000	2,370	1,020	352	83	-
ISO Class5	100,000	23,700	10,200	3,520	832	29
ISO Class6	1,000,000	237,000	102,000	35,200	8,320	293
ISO Class7				352,000	83,200	2,930
ISO Class8				3,520,000	832,000	29,300
ISO Class9				35,200,000	8,320,000	293,000
Note	Uncertainties related to the measurement process require that concentration data with no more that three significant figures be used in determining the classification level.

크린룸 청정도별 시공방식

Air Flow ltems	수직층류방식 Vertical Laminar Airflow Clean Room	수평층류방식 Horizontal Laminar Airflow Clean Room	난류방식 Turbulent Airflow Clean Room	클린튜브방식 Clean Tube Clean Room	터널방식 Tunnel Clean Room
Cleanliness Level	Class 1~100	Class 100	Class 100 Class 1,000원~100,000	Class 1	Class 1~100
Cleanliness Level in operation	작업자로 부터 영향이 적다	상류발진이 하류에 영향을 미친다	작업자로 부터 영향 있음	작업자로 부터 영향 있음	작업자로 부터 영향 은 가장 적다
Initial Cost	High	Middle	Low	Low	Middle
Operating Cost	High	Middle	Low	Low	Middle
Modification	Easy	Difficult	Easy	Difficult	Difficult
Maintenance of Manufacturing Machinery	Easy	Easy	Easy	Difficult	Easy
Expansion	Difficult	Difficult	Difficult but possible	고청정도 유지	Easy
Air handling with precise control	실전체 제어를 위해 실내의 불균형 약간 있음	상류의 발진이 하류에 영향을 미친다.	불균형 있음		작업부마다 고정밀도 제어가능
System

크린룸 청정도 기준 (각종 산업의 일반적인 필요 청정도) (단위:EA/FT³ 0.5㎛)

산업분야	용도	청정도	산업분야	용도	청정도
반도체공장	결정 제조	10~100	시계 . 정밀 기계	전자시계,부품조립	100이하
	확산	100이하		로켓트 부품 가공	100이하
	에칭,표면처리 중착	10~100		인공위성 제어장치	100이하
	조립,시험	100~100,000		고신뢰도 부품장치	100~1,000
	PHOTO	10이하		Miniature bearing	100이하
	연마	100이하		보통 Bearing	10000
	원료 및 제품보관	1,000~10,000		조립,검사	100~1000
레 이 저 공 업		100이하	전자 계산기	자기드럼	100이하
광 학 기 계	렌즈연마	100~10,000		자기 테이프	100이하
	눈금조각	100이하		기공,조립,검사	100~100,000
	의학용 카메라 가공	100이하	전자기기 전산 계측기	브라운관	100이하
	Film 제조 건조	10,000이하		고신뢰 관	100이하
	Microfilm 현상,건조	100~1,000		프린트 관	100~100,000
	조립	100~10,000		소형 릴레이	100~1,000
	도장	10,000~100,000		정밀 전기 계기	100~10,000
	검사	10,000~100,000		액정판	100~1,000